【将为其晶圆制造厂供应各种超高纯度气体，积塔半导体制氮机成功开机】

近日，林德气体宣布，其为积塔半导体建造的一台制氮机在上海开机成功，目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第一台，第二台预计将于2022年上线启用。http://t.cn/A6ApIyZc ​