【#上海微电子交付中国首台光刻机# 】上海微电子2月7日举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。http://t.cn/A6i0RoGU ​