新消息！国产半导体设备出货了！上海积塔公布的中标信息中，国内多家半导体企业成为供货商，唯独在光刻机方面，3台光刻机由ASML提供。#科技##芯片#

不过，笔者了解到上海积塔向ASML购买的光刻机，并非先进的DUV光刻机或者EUV光刻机，而是上海微电子也能够生产制造的ArF、KrF、i-line系列光源光刻机。

该消息出现后，有网友表示，国产光刻机正在全力突破，国内厂商应该尽可能给予支持，尤其是国内能够量产的光刻机产品，不应该只停留在口头上。

如今，最新的消息传来，上海积塔虽然没有选择上海微电子的光刻机设备，却选择了上海微电子的工艺检测设备，共计4台。

据悉，上海微电子是此次招标中唯一一家中标工艺检测设备的厂商，相比而言，获得4台工艺检测设备对上海微电子的意义更为重大。

因为在芯片生产制造过程中，必然会生产一些残次品，这就是所谓的芯片良品率，而工艺检测设备就是为了降低在芯片生产制造过程中出现更多残次品。

关键是，工艺检测设备已经开始逐渐成为芯片生产制造企业必须的设备。

用上海微电子的话说就是，工艺检测设备可以极大程度地提高晶圆制造过程中的工艺控制能力，该类设备正在被前道芯片制造、先进芯片封装等集成电路制造商越来越广泛地采用。

而在该领域内，ASML已经耕耘多年，结果在此次招标过程中，其依旧没有获得订单，4台订单均被上海微电子获得，这必然会促使其获得更多其它厂商的订单。

这足以说明上海微电子在特色技术和新兴产品方面还是有很大竞争力的，击败ASML获得4台订单就是最好的证据。

当然，上海微电子此次就能够在工艺检测设备方面胜出，这也说明其一直都全力推进新技术的研发。

消息称，上海微电子有望今年下线最新一代光刻机，其能够用于生产制造10nm以上的芯片，类似ASML的DUV光刻机，都是采用深紫外光源。

毕竟，国内已经开始建设光源技术制造生产基地，光源技术等进行批量生产制造，自然也意味着国内先进光刻机批量生产制造也不远了。

更何况，ASML也曾明确表示，国内厂商在光刻机技术方面进步很快，不出10年，或者ASML就会全面退出国内市场了。