光明日报
22-08-12 09:00 微博认证:光明日报法人微博

#奋斗者·正青春#【深圳市职业技术学院应用技术研发院特聘教授滕超:七年磨一剑 突破“卡脖子】“把光刻胶的样品从色谱柱中洗脱出来,用来测定交联度和分子量,利用的是体积排阻的分离机理。”在广东省深圳市职业技术学院应用技术研发院的实验室里,年轻的特聘教授滕超正在给学生解释实验原理。

别小看他身后那间光线昏黄的实验室,虽然面积不大,里面的每台设备都是滕超眼中倍加珍惜的“宝贝”。今年6月,正是在这间几十平方米的实验室中研制出的光敏聚酰亚胺光刻胶,通过测试验证,性能可以满足进口替代要求。

从研发到成功,滕超和团队在这个项目上钻研了七年之久。相比传统光刻胶,这种新型光刻胶既起光刻作用又是介电材料,可以大大缩短工序,提高生产效率,使我国芯片制造供应链上重要的原料实现了自主可控。http://t.cn/A6S2LCcC http://t.cn/A6S2L0Ne