集微网官方微博
22-11-24 12:00 微博认证:集成电路社区集微网官方微博

【专利解密|盛美上海公开新型电镀装置 有效提高精密产品电镀层一致性】

盛美上海公开的电镀装置方案,该方案通过设计桨叶的尺寸和运动方式,使基板上对应的每个点累计被桨叶遮挡的时间相等,从而接收到的电量相等,进而得到高度一致性的电镀效果。http://t.cn/A6KyGWiF ​