【#中国电科48所第三代半导体装备项目获国家科技部立项#】

近日，中国电科48所第三代半导体装备研发取得重大突破，牵头申报的“大尺寸超高真空分子束外延技术与装备”项目，获得国家科技部“高性能制造技术与重大装备”重点专项立项。http://t.cn/A6KNkQ90