是个好消息呀，上海新阳：KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中。

去年传出美国曾要求日本不要卖KrF光刻胶，现在看来控不住中国产业链，已经两个中国公司可以搞这个，ArF胶要是商用，就差5nm以下的EUV光刻胶了。

上海新阳1月28日在互动平台表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。