【两部门公布2022年度重点产品、工艺“一条龙”应用示范方向，半导体领域占半壁】

1月30日，2022年度重点产品、工艺“一条龙”应用示范方向和推进机构名单公布，共16个重点方向。

在半导体刻蚀气方向，推进机构为中国昊华化工集团股份有限公司，参与单位包括中化蓝天集团有限公司、昊华气体有限公司、绿菱气体科技有限公司等。http://t.cn/A69uybpF