【吃一个，夹一个，看一个】#芯片##半导体#

2023年5月9日，中微半导体设备（上海）股份有限公司发布消息——推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。见附图。

Preforma Uniflex™ CW可灵活配置多达五个双反应台反应腔（十个反应台），每个反应腔可以同时加工两片晶圆，在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时，实现更高的生产效率。

Preforma Uniflex™ CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案及加热台，具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性，对于弯曲度较大的晶圆，它也具备良好的工艺处理能力。其阶梯覆盖率和填充能力，可以满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。

点评：

中微的第一主业是刻蚀机。详见
http://t.cn/A6NmsYG5
不再赘述。

第二主业是成膜设备。首先从占比很小的MOCVD入手，至今已经成绩斐然。在新一代MiniLED产业的蓝绿光LED生产线上，中微已经取得了领先优势。

2021年10月，中微公司宣布其全球第500台MOCVD成功交付国内LED外延片和芯片研发生产制造商。

2022年前三季度，中微公司的MOCVD设备前三季收入为3.88亿元，同比增长约 27.70%，毛利率35.83%。

中微最新MOCVD最新产品为Prismo Unimax®外，中微公司的MOCVD设备还包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。

此外，中微还在布局开发LPCVD、EPI、ALD等其他成膜设备。此次推出的LPCVD设备，已导入客户端核验。

中微未来的第三主业，将可能是量测设备——这个比较鲜为人知。

中微公司2023年4月28日公告，公司拟竞购国家集成电路产业投资基金股份有限公司持有的睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称“上海睿励”)6.7575%股权。

刻蚀超霸，成膜精进，量测展望。中微的吃一个，夹一个，看一个的扩张策略，已然可现。