【#4月半导体设备招投标743台设备：上海积塔环比增近129%#】
集微网消息，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年4月，上海积塔、华虹半导体、润鹏半导体、新昇半导体等企业合计招标743台设备，数量高于3月的321台，环比增长131.46%。其中，光刻设备9台，刻蚀设备37台，薄膜沉积23台，工艺检测53台，离子注入3台，CMP 23台，清洗设备21台，涂胶显影13台。http://t.cn/A6pv5y8x