由中国电子视像行业协会公共信息显示分会、深圳市平板显示行业协会、成都新型显示行业协会、广东省光电显示技术协会、深圳市照明与显示工程行业协会、深圳市增强现实技术应用协会共同支持, JM Insights 以及洛图科技联合主办的2023中国国际 Mini/Micro LED 产业生态大会将于 2023年6月16日 在苏州合景万怡酒店召开!该论坛旨在汇聚全球优质的 Mini/Micro LED 产业资源,组建从设备、材料到工艺,再到技术、系统以及应用的产业生态,迎接Micro LED量产元年到来……
拟邀请企业(以下排序不分先后)
面板厂:京东方、TCL 华星、天马、辰显光电、惠科、群创光电、友达光电、三星、LG、龙腾光电、信利、瀚彩、JDI、超声、莱宝 ……
品牌终端(TV/MNT/NB/车载/ARVR/穿戴/商显):海信、TCL、创维、长虹、华为、小米、康佳、索尼、夏普、惠普、联想、宏碁、戴尔、微星、华硕、优派、机械师、飞利浦、康冠、泰坦军团、钛度、华米、歌尔、PICO、爱奇艺、大鹏、OPPO、VIVO、荣耀、视源股份、理想汽车、蔚来汽车、小鹏汽车、比亚迪、上汽、长城、奇瑞、吉利 ……
LED/基板/封装/灯板/直显/巨量转移:沃格光电、三安、兆驰、晶电、錼创、华灿、聚灿、乾照、澳洋顺昌、天电光电、聚飞、鸿利、亿光、首尔半导体、欧司朗、芯映光电、利亚德、洲明、艾比森、雷曼、海康威视、大华股份、阿尔泰、士兰、联建光电、强力巨彩、易美新创、芯乐光、华引芯、弘名、隆达、日亚、闻泰科技、国星光电、晶能光电、恒润、中麒光电、长春希达、奥拓电子、南京洛普、视爵光旭、蓝谱视讯、海佳彩亮、英特来、Barco、厦门芯颖、晶台、信达光电、康宁、AGC、瑞丰、东山精密、晶科、台表科、百柔新材料、亚玛顿、鼎鹏控股、博敏电子、伊帕思、华正新材、穗晶、佑明、谷麦、华瑞 ……
背光模组/Tier1:翰博高新、隆利、芯瑞达、南极光、冠捷、富士康、中强光电、国显、鼎捷鑫、惠联智显、兆纪、汇创达、伟时电子、钰琥显示、瑞仪、超声显示器、延锋、马瑞利、华阳科技、德赛西威、博世、路畅科技、新通达、佛吉亚歌乐电子、精电、航盛电子 ……
驱动IC/方案:聚积科技、集创北方、Dialog、华源智信、芯能、芯格诺、显芯、诺瓦星云、信芯微、联咏科技、奇景光电、初芯、禹创、奕斯伟、嘉润源、明微电子、富满微电子、卡莱特、麦格米特……
设备/封装材料/光学材料:新益昌、海目星、卓兴半导体、凌云光、明锐理想、精测电子、劲托、盟拓、远方光电、晟鼎精密、勤邦电子、ASMPT、北方华创、万福达、希孟、轴心自控、凯格精机、福斯特万、大族、晨日、铟泰科技、BVT、长阳、纳晶、3M、富盛、贺利氏、积水化学、新伦科技、达四海、瑞淀、Admesy、兆虹精密、伊斯帕、大为、一鑫、德高、康美特、致晶、K&S、激智、普加福、南通维怡、星烁纳米、ASM ……
投融资:各证券机构、产业基金、投资机构、地方政府招商局 ……
随着超大规模集成电路制造技术、新型薄膜晶体管显示技术和大面积OLED显示技术的日益成熟和规模化,激光退火技术逐渐取代传统的炉管退火、快速热退火、尖峰退火、快闪退火,成为新一代主流退火技术。
激光退火一个显著的特征是,在超短的时间内(数十到数百纳秒量级)将高能量密度的激光辐照(若干J/cm2)投射在退火样品一个小区域内,使得样品表面的材料熔化并在随后的降温过程中自然地在熔化层液相外延生长出晶体薄膜,重构熔化层的晶体结构。在重构晶体的过程中,离子注人导致的晶格损伤被消除,掺杂杂质在高温下扩散并重新分布,杂质原子溶解于晶体,被激活释放出空穴或者电子。
随着LTPS产品市场需求的不断增长,LTPS制造技术的不断成熟,激光退火技术在平板显示领域扮演着越来越重要的作用。基于非晶硅材料的液晶显示面板,一般是通过低压化学气相沉积(Low Pressure Chemical Vapour Deposition,LPCVD)或者是离子增强型化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical VapourDeposi-tion,PECVD)在玻璃衬底上边沉积一层薄薄的非晶硅薄膜。鉴于晶体硅相较于非晶硅更加好的电学特性,更高的电子迁移率和更加稳定的化学特性,激光退火在平板显示领域被作为一个重要的基础方法,用来将沉积于玻璃衬底之上的非晶硅薄膜转化为晶体硅薄膜,从而制备低温晶体硅面板。
依据摩尔定理,随着大规模集成电路集成度不断的提升,节、栅极、源漏极等制造工艺所需的退火热预算不断的减少,精细的退火技术需要在离子激活、可控离子扩散、结晶质量和缺陷修复等方面不断的优化。激光退火技术在集成电路里边的应用,主要在如下三个方面:
(1)给半导体器件的电极(源、漏、栅极)退火,金属化形成欧姆接触;
(2)给集成电路内部的连接退火;
(3)给3D的结构做退火,如存储器、NEM
S等的退火。
