$晶盛机电 sz300316$ 【晶盛机电：碳化硅外延设备出货量位居国内前列】

近日，晶盛机电在接受机构调研时表示，公司8-12英寸大硅片设备（长晶、切片、抛光以及CVD设备等）基本实现国产化并批量交付；功率半导体设备的外延设备及高温炉管等设备也已批量交付，特别是碳化硅外延设备，出货量已经做到了国内前列。http://t.cn/A6p6p7SJ