中国电子科技集团有限公司消息,该集团旗下中电科电子装备集团有限公司连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术,形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局,实现了28纳米工艺制程全覆盖。
离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能,这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
当前,28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。在这个领域实现全国产化,对于解决卡脖子难题,为我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全,提供了重要保障。
芯片制程是美国目前唯一还能卡中国脖子的地方,直到最近,美国还在这个领域不断加码,但中国在成熟工艺制程取得突破后,已经基本可以宣告美国卡脖子战略走向破产。
有了成熟工艺,也就等于解决了0~1的问题,后面的先进工艺,就是在原有基础上再加0,以中国人的聪明才智,这反而是相对容易的事情。
芯片是美国为中国设的最后一道坎,跳过去了,后面一片海阔天空!
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