#至纯科技 sh603690[股票]# 【至纯科技：湿法清洗设备在28纳米全部工艺工序段已有重复订单】

至纯科技6月29日在投资者互动平台表示，公司制程设备覆盖半导体领域的各类设备，以湿法清洗设备为主。公司湿法清洗设备在28纳米全部工艺工序段已通过验证并有重复订单。公司还领先突破了原来由国外垄断的单片SPM设备。http://t.cn/A6p3t5yq