绕开EUV光刻，下一代纳米压印光刻技术从存储领域开始突围（中）
摘自 李宁远 电子发烧友网

搅动光刻市场，纳米压印市场正在逐渐壮大

随着行业发展，DUV、EUV光刻机的系统复杂度、技术瓶颈和成本问题等日益突出，沉寂许久的纳米压印技术在近年来又迎来了新的关注。这也得益于纳米压印技术产业在技术工艺上的不断突破，随着工艺进一步成熟，下游应用领域需求开始增多，纳米压印技术正走向大面积产业化的阶段。

根据新思界产业研究中心发布的《2023—2028年中国纳米压印技术（NIL）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，2022年全球纳米压印技术市场规模达到22.9亿美元，同比增长13.6%。TechNavio的相关数据则预测纳米压印市场将以年复合增长率17.74%增长至2026年的33亿美元。

目前，不少科研机构和厂商都加大了纳米压印上的投入。国外厂商如Canon、EV Group、Nanonex Corp、Obducat AB、SUSS MicroTec等公司已出产纳米压印光刻设备。

Canon一直在以纳米压印技术打造下一代nm级的光刻机，市面上也一直有Canon将纳米压印技术用于量产存储芯片的新闻，根据相关报道其纳米压印设备的套刻精度，吞吐量等参数指标均处于行业领先位置。根据Canon的相关报道，预计到2025年，Canon将进一步研发出生产5纳米芯片的设备。

奥地利设备厂商EV Group也在纳米压印技术上走在行业前列，旗下纳米压印系统结合了调准平台改进、高精度光学、多点间隙控制、非接触式间隙测量和多点力控制等技术，有着业内领先的调准精度。

国内也有不少厂商在纳米压印赛道上加紧布局，如青岛天仁微纳、苏州苏大维格、歌尔股份、苏州光舵微纳、昇印光电、新维度微纳、埃眸科技等。

获得华为哈勃青睐的国内头部厂商天仁微纳目前产品涵盖整机设备、模具、压印材料，研发了多款高精度紫外纳米压印设备，已经实现最大150／300mm基底面积上高精度（优于10nm ）、高深宽比（优于10比1）纳米结构复制量产。

苏大维格此前也表示纳米压印设备除自用及向国内外高校及科研院所销售外，已经开始向企业拓展，除了相关关键器件，苏大维格根据客户需要开始向半导体领域企业相关客户提供纳米压印设备整机。

苏州光舵微纳同样致力于纳米压印设备及技术的研发及产业化推广应用，已研发制作出多款纳米压印设备、配套工艺和耗材，并成功推出全自动量产型纳米压印设备。

国内外厂商迅猛的发展势头大大加快了纳米压印技术大规模商业化量产的脚步，虽然在芯片制造领域这一技术仍还有不少短板需要补足，还要面对纳米压印光刻牵扯出来的配套工艺、设备、材料等问题，但其前景无疑是光明的。