【高能离子注入！高精尖】第十一届（2023年）半导体设备材料与核心部件展示会（CSEAC）上，中国中车旗下思锐智能公司SRII-8M型高能离子注入机系列产品正式推出。离子注入机是芯片制造中的关键装备，高能离子注入机在离子注入机当中又属于难度最高的机型，目前国产化进程几乎处于空白状态。高能离子注入机的成功研发，对推动我国半导体产业高质量发展具有积极作用，充分展现国资央企科技创新、产业控制、安全支撑作用。@国资小新