#半导体[超话]#光刻胶由成膜树脂(聚合剂)、光引发剂、溶剂及添加剂构成。其中树脂占光刻胶总成本的50%,在光刻胶原料中占比最大,其次是占35%的单体和占15%的光引发剂及其他助剂。对于高端光刻胶,树脂所占成本比例更高。
树脂:日本、美国企业目前占据主要市场。国内方面,圣泉集团、彤程新材、徐州博康、久日新材等开始逐步布局。但KrF用聚对羟基苯乙烯类树脂,基本依赖进口,高端的ArF树脂几乎无法买到,EUV 用聚对羟基苯乙烯类树脂,或分子玻璃、金属氧化物,国内几乎空白。
单体:国内公司包括万润股份(ArF/KrF胶单体)、瑞联新材、博康化学(KrF/ArF 单体)以及微芯新材(KrF胶单体)。其中博康化学主要单体产品覆盖5款ArF湿法单体、5款ArF干法单体、6款KrF单体。
光引发剂:被德国巴斯夫垄断,国内有久日新材、扬帆新材、强力新材、固润科技、双键化工等,其中久日新材是全国产量最大、品种最齐全的光引发剂生产供应商,光引发剂业务市场占有率约30%。
溶剂:主要为PGMEA(丙二醇甲醚酸醋酯,简称PMA),大陆自给率较高,产能占据全球总产量的35%左右。生产企业有百川股份、瑞佳化学、怡达化学、华伦、德纳国际等。
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