爆个小料：国产DUV光刻机光源外观和型号 [并不简单]

型号看左上角"RS144D"准分子激光器，不过这不是用于浸润式DUV光刻机的，是干式的，已经大规模量产，指标只有40w 4khz。

浸润式DUV光刻机(SSA800)用的是这个光源的改进型，叫 "RS166Di"，指标达到60w 6khz，2022年才研发成功，据称外观和图中一样。

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