涉及EUV光刻光源研究，华中科技大学和上海光机所联合举办了科研项目研讨会 [并不简单]

这两家是国内EUV光源研发的多条路线之二的主导方，一个是LPP方案，一个是LPP-光纤激光双脉冲方案 [酷]

国内EUV光刻机的研发成果正喷涌而出 [鼓掌]

华中科技大学光学与电子信息学院副院长唐明、院长助理张金伟等6位导师代表，近日赴上海与中科院上海光机所联合举办科研项目研讨会暨联合培养合作交流会。上海光机所副所长冷玉新，双方导师代表及15名联合学员参加了本次会议。会议由上海光机所研究生部副主任金主持。

在科研交流环节，上海光机所紫外激光科学与技术国家重点实验室副主任南林研究员作了题为《极紫外光刻光源研究进展》的报告；信息光学与光电子技术实验室党支部书记李思坤研究员作了题为“光刻应用中的模拟与检测技术”的报告；超强激光科学与技术国家重点实验室石志勇工程师作了题为《LPP-EUV光刻光源理论模拟研究进展》的报告；学院光电子学教授李作了题为“激光等离子体诊断与熔滴锡靶”的报告；朱教授作了题为《高功率高能固体皮秒超快激光器》的报告；李波副教授作了题为“CO2激光器关键技术高功率脉冲报告”的报告。在场的老师们积极探讨各自的科研领域和前沿发展，从交流中迸发创新智慧，从探索中寻找合作共赢的机会。