【#俄罗斯开发出可替代光刻机的芯片制造设备#】

俄罗斯圣彼得堡理工大学（SPbPU）的研究人员开发了一种国产光刻复合设备，用于利用蚀刻生产无掩模芯片，这对于俄罗斯微电子实现自给自足至关重要。http://t.cn/A6WhafEf ​