【#长鑫存储# “晶圆支撑件、晶圆加工装置及晶圆加工方法”专利获授权】

天眼查显示，长鑫存储技术有限公司“晶圆支撑件、晶圆加工装置及晶圆加工方法”专利获授权，授权公告日为10月17日，授权公告号为CN113327884B。专利摘要显示，本发明涉及一种晶圆支撑件、晶圆加工装置及晶圆加工方法。http://t.cn/A6WGET92