首先，能确定一点，这个技术是紫外光束汇聚到光刻胶表面的元件，即光刻机的物镜结构。其次，这个核心零部件能够自主掌握，不受卡脖子的风险，真的要鼓掌了...

但是，要认清差距，最大像差均小于0 .000286mm，即 最大像差<286nm，大致判断是用在干式纯国产DUV光刻机身上，即65nm-90nm分辨率的光刻机之中。