财联社：一位国内某知名高校的光学研究教授告诉财联社记者：目前国内的极紫外EUV技术较国外仍有较大差距；且即使已经有了EUV光源，还需看其质量是否足够用于光刻。据了解，EUV光源是EUV光刻机中最关键也最困难的部件之一，需要产生稳定、强大、可靠的极紫外光，并且能够持续运行。目前，这一技术由美国的Cymer公司提供，Cymer公司是ASML公司在2012年收购的子公司，也是目前全球唯一能够提供商用EUV光源的公司。