国产半导体产业链企业分类及梳理
上游半导体设备：
刻蚀机：北方华创、中微公司 等；
光刻机：上微集团、华卓清科 等；
PVD：北方华创 等；

CVD：北方华创、中微公司、拓荆科技 等；
离子注入：中科信、万业企业 等；
炉管设备：北方华创、晶盛机电 等；

检测设备：精测电子、华峰测控、长川科技 等；
清洗机：北方华创、至纯科技、盛美上海 等；
其他设备：芯源微、大族激光、锐科激光 等

上游半导体材料：
大硅片：沪硅产业、中环股份 等；
靶材：江丰电子、阿石创、隆华科技、有研新材 等；
高纯试剂：上海新阳、江化微、晶瑞股份、巨化股份 等；
特种气体：雅克科技、华特气体、南大光电 等；

抛光材料：安集科技、鼎龙股份 等；
光刻胶：南大光电、飞凯材料、容大感光、晶瑞股份 等；

其他材料：神工光伏、菲利华、石英股份 等
中游代工：中芯国际、华虹半导体（华虹公司）、粤芯半导体、华润微 等
下游封测：长电科技、通富微电、华天科技、晶方科技、深科技 等