【祝贺！#我国研制出世界首个氮化镓量子光源芯片#】#我国量子光源芯片研发获重大突破# 4月18日，记者从@电子科技大学 信息与量子实验室获悉，该实验室研究团队与@清华大学 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所合作，在国际上首次研制出氮化镓量子光源芯片。相关成果近日已发表在《物理评论快报》上。

研究团队通过迭代电子束曝光和干法刻蚀工艺，攻克了高质量氮化镓晶体薄膜生长、波导侧壁与表面散射损耗等技术难题。目前，量子光源芯片多使用氮化硅等材料进行研制，与之相比，氮化镓量子光源芯片在输出波长范围等关键指标上取得突破，输出波长范围从25.6纳米增加到100纳米，并可朝着单片集成发展。更多详情→http://t.cn/A6TTUOaW（邓艾玲 科技日报实习记者 刘侠）