半导体制造材料国产化情况
(1)硅片:8英寸国产化率55%,12英寸国产化率10%,国内厂商:沪硅产业、立昂微。
(2)掩模版:晶圆厂商自产为主。国内厂商:菲利华、清溢光电。
(3)光刻胶:高端国产化率约10%,国内厂商:彤程新材、南大光电、晶瑞电材、上海新阳。
(4)湿电子化学品:G3及以上国产化率约10%,国内厂商:江化微、格林达。
(5)电子特气:国产化率约15%,国内格局分散,包括:华特气体、金宏气体、雅克科技。
(6)CMP抛光材料:抛光液约30% 、抛光垫约20%,国内厂商:安集科技、鼎龙股份。
(7)靶材:国产化程度最高,国内厂商:江丰电子。
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