日本三井化学日前宣布,将开始量产半导体最尖端光刻机的零部件产品。计划在山口县岩国大竹工厂内设置生产线。新产品支持荷兰阿斯麦(ASML)将推出的下一代光刻机。材料采用碳纳米管(CNT),与以往产品相比,提高了强度和光的透射率。将向全球的半导体设备制造商供货。
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日本三井化学日前宣布,将开始量产半导体最尖端光刻机的零部件产品。计划在山口县岩国大竹工厂内设置生产线。新产品支持荷兰阿斯麦(ASML)将推出的下一代光刻机。材料采用碳纳米管(CNT),与以往产品相比,提高了强度和光的透射率。将向全球的半导体设备制造商供货。