来自山西大学量子光学与光量子器件国家重点实验室仝召民团队在Light: Advanced Manufacturing上发表论文，提出了一种基于激光散斑灰度光刻技术的随机（截）锥体阵列微结构制备方法，并将该微结构应用于高灵敏度柔性电容式压力传感器的研制中，实现对该类传感器的简单、快速、可控制造。该方法为微结构的制造提供了新的解决思路，且有望于在更多相关领域中得到应用。http://t.cn/A6RwxNQm #Light: Advanced Manufacturing##激光散斑##柔性电容式压力传感器##激光散斑灰度光刻技术#