路边社DUV样机2020年就出来了，2021年原型机出来了，2022年第一次验收失败了，然后回炉重造，2023年第二次验收，勉强通过，也就是说还有很多问题，良率还是低，还需要优化，2023年底生产了3台，然后2024年每个季度大概可以生产3台左右，当然需要逐步优化，整体成熟量产估计2025年底，至于EUV光刻机整体进度比DUV晚一年，整体成熟量产在2026年底！