专利热点：
1.紫光同芯“多次外延制作超结屏蔽栅结构IGBT及制造方法”专利获授权
2.北方华创“一种刻蚀方法、半导体工艺设备及计算设备”专利公布
3.士兰微“功率模块”专利获授权
4.天域半导体“表面多孔结构的外延层生长方法”专利公布
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