【填补国内空白！研微半导体首台设备交付大客户！】
锡企成功填补国内半导体装备金属原子层沉积领域的空白。11月22日上午，就在研微半导体落户无锡经开区两周年之际，该企业自主研发的首台国内先进纳米制程原子层沉积设备发车出厂，交付国内头部客户。（无锡日报）