哈工大成功攻克EUV光技术。哈工大团队采用放电等离子体技术，成功制备出了13.5nm的极紫外光源，并在多项性能指标上均展现出了显著优势，光源不仅能量转换效率更高，而且在体积和造价方面也更具竞争力。（集成电路前沿 2025年01月23日 00:08 北京） http://t.cn/z8Aqjgl ​