中国正在超越ASML

.Dr. Kim (김서연)
当前职位：TSMC（台积电）

激光诱导放电等离子体（LDP)EUV生成技术的商业化推进是光刻领域的"DeepSeek时刻"（可能指中国突破性技术），这一进展令我感到担忧。

LDP技术优势：
比ASML使用的激光产生等离子体（LPP）更高效。

原理：将少量锡蒸发到两个电极之间的云中，通过高压将锡蒸气转化为等离子体，电子与锡离子碰撞产生13.5nm的EUV光。

对比LPP:LPP需要高能激光器和复杂的FPGA实时控制电子系统，而LDP更简单、体积更小、成本低且能效更高。

——这就担忧了啊，这才刚开始