荷兰的ASML丧钟已经敲响。中国自主研发的 EUV 光刻机即将面世。不同于ASML技术路线,中国采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术,再次领先世界。目前整机基本已经完成测试,今年下半年进行试生产,最晚明年量产。
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荷兰的ASML丧钟已经敲响。中国自主研发的 EUV 光刻机即将面世。不同于ASML技术路线,中国采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术,再次领先世界。目前整机基本已经完成测试,今年下半年进行试生产,最晚明年量产。