该设备采用高数值孔径物镜（NA≥0.95）和高速图像采集系统，检测精度达 10nm 级，可适配 FinFET、GAA 等先进晶体管结构及 3D NAND 堆叠层检测，打破了科磊等企业对 14nm 以下制程明场检测设备的垄断，填补了国内市场空白，实现了从 0 到 1 的突破，是我国半导体检测设备领域的重要里程碑。 ​