【芯慧通·热点】据香港科技大学霍英东研究院公众号消息，近日，由香港科技大学霍英东研究院与香港科技大学（广州）联合孵化的“拓诺稀科技”传出新进展，其位于南沙的首个先进生产厂房正式启用。

据了解，拓诺稀科技生产厂房位于粤港澳大湾区“黄金内湾”广州南沙，占地约500平方米，集研发、测试、制造、工艺支持于一体。设有MOCVD工艺区和离子注入室、专用的气体储存间、固废处理间，全面保障高科技产品制造的稳定与安全。团队成功改造MOCVD工艺的生产设备在厂房中运行良好，实现了设备平台与氧化镓材料的深度适配，为第四代半导体材料的本土化生产与应用提供了可持续的技术支持平台。

据悉，拓诺稀科技通过实现p型导电，使得氧化镓材料具备构建pn结及其他双极型器件（如BJT、IGBT）的能力，显著拓展在新能源汽车、工业机器人、电力能源等领域的应用空间。团队采用自主研发的MOCVD外延及加工工艺，形成全球独有的技术体系，支持多层pn结构设计以实现差异化器件性能。工艺兼容半导体行业标准设备，具备大规模量产与高度产业化的可行性，为晶圆加工和芯片集成提供坚实支撑。

据公开资料显示，广州拓诺稀科技有限公司成立于2022年，位于广州南沙，由中国香港科技大学（广州）的陈子强教授发起成立，依托港科大（广州）的技术和研究平台，是一家专注于第四代半导体材料——氧化镓（Ga₂O₃）外延薄膜制备及高性能半导体器件研发的高新技术企业。#芯片[超话]##集成电路材料##集成电路[超话]#