【芯慧通·热点】据报道,欧莱新材近日成功向新客户供应集成电路用高纯铜靶材,并完成首批产品出货。该高纯铜靶材纯度达4N(99.99%)以上,晶粒度控制在100μm以下,具有电阻率低、抗电迁移性优及稳定性高等特点,是半导体制造中晶圆金属化环节的核心材料,用于形成集成电路的导电层和互连结构。
据了解,此次出货的高纯铜靶材属于欧莱新材重点布局的半导体领域产品。公司近年来持续加大对集成电路靶材的研发投入,包括在合肥组建薄膜技术中心、扩充研发团队及购置专业设备,旨在突破高端半导体材料国产化技术瓶颈。高纯铜靶材的规模化生产,进一步体现了公司在溅射靶材领域的技术积累,尤其是在晶粒尺寸控制、直线度精度(≤0.1mm/m)等关键指标上的领先水平。除集成电路靶材外,公司积极拓展上游高纯铜基材料业务,如高纯微晶磷铜球、高纯无氧铜杆等产品已亮相国际电子展会;同时,韶关乳源“高纯无氧铜生产基地”及合肥“高端溅射靶材生产基地”两大项目正加速建设,以强化原材料自主可控能力。
据公开资料显示, 广东欧莱高新材料股份有限公司(欧莱新材,688530.SH)成立于2010年,总部位于韶关,在韶关新区、东莞厚街、韶关乳源、安徽合肥设立了生产基地,在深圳设立了分公司。公司主营业务为高性能溅射靶材的研发、生产和销售,主要产品包括多种尺寸和各类形态的铜靶、铝靶、钼及钼合金靶、 ITO 靶、TCOM靶等,是各类薄膜工业化制备的关键材料。公司致力于为半导体显示、触控屏、集成电路(及封装)、太阳能光伏和动力电池等领域提供优质的产品与服务。服务的半导体客户包括越亚半导体、SK Hynix(海力士)等。#芯片[超话]##集成电路材料##集成电路[超话]#
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