【#中微公司Primo Menova™12寸金属刻蚀设备全球首台机顺利付运#】

近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）宣布其Primo Menova™12寸金属刻蚀设备全球首台机顺利付运国内一家重要集成电路研发设计及制造服务商。据悉，中微公司的12英寸ICP单腔刻蚀设备 Primo Menova™专注于金属刻蚀，尤其擅长于金属Al线、Al块的刻蚀，可广泛应用于功率半导体、存储器件和先进逻辑芯片的制造，是晶圆厂金属化工艺主要设备之一。http://t.cn/A6DbzexO