国产光刻机概念全梳理！

一、借壳传闻与核心平台
上海电气控股：上海电气、电气风电、海立股份、上海机电、赢合科技；
控股上海微电子：张江高科、东方明珠；
总装与投资主体：张江高科、上海电气；
技术合作企业：大族激光、奥普光电。

二、光学系统
1. 光学元件与晶体：福晶科技、茂莱光学、波长光电、腾景科技；
2. 物镜系统：奥普光电、联合光电；
3. 光学模组加工：苏大维格、清溢光电。

三、光源系统
激光光源：炬光科技、旭光电子；
曝光系统：波长光电。

四、关键部件与精密制造
1. 精密结构件：富创精密、蓝英装备、新莱应材；
2. 定位与控制系统：苏大维格、冠石科技；
3. 清洗设备：蓝英装备；
4. 温控系统：同飞股份、海立股份。

五、材料与工艺配套
1. 光刻胶：南大光电、彤程新材、久日新材、华懋科技；
2. 电子特气：凯美特气、华特气体；
3. 洁净系统：美埃科技；
4. 封装材料：彤程新材。

六、其他配套
设备零部件：富创精密、新莱应材；
检测与封装：芯源微、赛微电子。