不可不知！这七家公司，撑起光刻机行业半边天

1、张江高科
聚焦房产开发、销售、租赁等领域，其核心优势在于通过子公司持有上海微电子约10%股权，而上海微电子是国内唯一能量产光刻机整机的企业。作为张江园区开发主力军，公司打造了众多高端房产，并设立集成电路创新服务平台张江浩心，加速芯片从研发到量产进程。

2、大族激光
专注激光设备及关键器件领域，是国内唯一光刻机整机上市企业，其接近式光刻机已投入市场，公司具备从基础器件、整机设备到工艺解决方案的垂直一体化能力，也是亚洲最大的激光加工设备生产商。

3、茂莱光学
深耕光学器件系统与进口领域，是国内DUV光刻机投影物镜唯一量产企业，掌握纳米级技术，光学器件产品达国际先进水平。作为国家专精特新小巨人，公司在DUV光学透镜领域实现全链条自主可控，与上海微电子长期合作，国内市占率高。

4、凯美特气
主营氢气、二氧化碳等气体产品，其光刻气可满足EUV光刻需求，稀有气体纯化技术填补国内空白，已进入ASML光刻供应链。作为国家专精特新小巨人公司，是国内工业气体回收利用领域领先企业，与电子特种气领域填补国内空白。

5、华特气体
从事特种气体及相关设备与工程业务研发多款光刻混合器，是国内唯一同时通过荷兰ASML和日本JAAO ton认证的气体公司。公司实现五十余种产品国产替代，已进入5纳米等先进制程工艺，与全球半导体知名企业合作。

6、新莱应材
专注洁净应用材料，高纯及超高纯应用材料，其半导体真空系统和气体系统，其应用于光刻机设备，且同时通过ASMLA mad等国际认证。作为国内少数覆盖泛半导体、生物医药、食品饮料三大领域的高洁净应用材料企业，技术处于行业先进水平。

7、美埃科技
聚焦空气净化大气环境治理产品，为上海微电子开发28纳米光刻设备所需的空气净化产品，打破国外垄断。