全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm。
发布于 贵州
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全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm。