在沈阳，拓荆科技、芯源微、富创精密中科仪、新松半导体、和研科技素有半导体设备"六小虎"之称，它们都在各自的领域成为了半导体设备国产替代的先锋。

1、拓荆科技——踏遍荆棘冲破国际巨头垄断

2、芯源微——争当辽沈集成电路装备产业“开路先锋”

3、富创精密——以精密零部件打通半导体设备“险关要隘”

4、新松半导体——力争拿下晶圆传输领域“国内份额第一”

5、和研科技——打响半导体切磨抛设备技术攻坚和市场突围战

6、中科仪——深耕近70年实现国内干式真空泵多项零的突破

而这六只“东北虎"，全部都是从沈阳市浑南区的飞云路上走出来的，产业的集聚效应，成为沈阳半导体设备工业腾飞的“密码”:

上游有富创精密、新市松半导体、中科仪等企业供应零部件和控制系统，中游有芯源微、拓荆科技、和研科技等整机设备制造商，下游有中国电子科技集团公司第四十七研究所等从事集成电路制造和封测，企业间上下游分工合理目距离极近。

沈阳半导体设备“六小虎”在底层设备上的持续攻坚，为中国半导体产业国产化打下了坚实地基础。