【#科研速递# 清华科研团队综述原子级精密定位技术发展】近日，清华大学深圳国际研究生院李星辉团队对光栅干涉仪应用于原子级精密定位技术领域进行了全面综述。文章通过九张综合性表格，对不同测量维度的光栅干涉仪研究成果进行了系统梳理和横向对比，涵盖了位移、角度以及多自由度测量等方向。文章还特别针对原子级精度，进一步通过误差量化分析表格揭示了主要误差来源及其补偿策略。研究成果以“光栅干涉仪：原子级及近原子级制造中的主导定位技术”为题，发表于《制造系统》。论文链接：http://t.cn/AXPT7iuW #小清在看# #清华大学[超话]#