【#苏州纳米所纳米加工平台在β-Ga2O3垂直功率器件方面取得新进展#】

近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工平台在氧化镓（β-Ga2O3）功率器件领域取得两项重要突破：首次基于纳米加工平台开发工艺制备了多鳍通道欧姆接触阳极β-Ga2O3二极管（MFCD），实现超低漏电的千伏级击穿电压；同时研制出高性能增强型垂直β-Ga2O3多鳍晶体管，创下4.3 mΩ·cm²最低比导通电阻纪录。两项成果可为高温高压应用场景提供全新的解决方案。http://t.cn/AXPkKWY6