北京大学周治平教授在《硅基光电子学》一书对于硅基光电子学的定义：硅基光电子学是探讨微纳米量级光子、电子及光电子器件在不同材料体系中的工作原理，并使用与硅基集成电路工艺兼容的技术和方法，将它们异质集成在同一硅衬底上形成一个完整的具有综合功能的新型大规模光电集成芯片的一门科学。

硅光子技术，一般被简称为硅光，是指以硅基材料为衬底，结合CMOS工艺，在硅晶圆上集成多个原先使用III-V族材料的光器件，并最终实现光信号处理与电信号处理的深度融合的技术。

硅基光电子芯片包含了电子芯片、光子芯片以及光电子芯片的功能，注重光子和电子的相互作用，特别强调大规模异质集成。硅基光电子芯片拥有光的极高带宽、超高速率和高抗干扰特性以及微电子技术在大规模集成、低能耗、低成本等方面的优势。