国内光刻机最受益的10家公司：
​1.上海微电子（唯一量产前道光刻机，没上市）、
​2.福晶科技（激光晶体龙头）、
​3.茂莱光学（DUV投影物镜）、
​4.华特气体（ASML认证光刻气）、
​5.奥普光电（EUV物镜研发）、
​6.南大光电（ArF光刻胶）、
​7.新莱应材（ASML真空系统）、
​8.炬光科技（高功率激光器）、
​9.雅克科技（EUV光刻胶）、
​10.中微公司（刻蚀设备）。
​这些公司覆盖了光刻机整机、光学、材料等核心环节。