【清华团队研发新型光栅干涉仪，实现原子级精度多维测量】

#清华大学# 深圳国际研究生院李星辉副教授课题组的主要研究方向为精密纳米光学测量技术与仪器。近期，该团队开发了一种新型零死区外差光栅干涉仪，尺寸仅为 90×90×40mm³。值得关注的是，该系统同时实现了原子级超高精度（0.1nm 量级）和三自由度（X、Y、Z 轴）位移测量。

研究结果显示，该系统在 X 轴和 Y 轴可实现的分辨率为 0.25nm，Z 轴分辨率达 0.3nm，重复定位误差优于 0.8nm，线性度最高能达到 6.9×10-5。

李星辉对 #DeepTech# 表示：“这项研究历时五年多，我们团队从原理到技术再到系统进行了一系列创新，率先在国际上实现了兼具原子级和多维度的光栅干涉测量系统。”

该技术具有广泛的应用前景，有望应用于极紫外（EUV，Extreme Ultra-violet）光刻机、原子力显微镜为代表的扫描探针测量系统、#太空望远镜# 以及其他超精密制造与计量领域。

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