与中芯国际有深度合作的前五名供应链公司:
1.北方华创:作为国内半导体设备龙头企业,是中芯国际设备采购的核心国产合作伙伴,产品覆盖多道关键工序。公司的刻蚀机已批量供应中芯国际成熟制程产线,刻蚀速率达 5000Å/min,选择比优于行业标准;薄膜沉积设备通过中芯国际验证,适配 12 英寸晶圆制造需求。目前已实现对中芯国际 6 大类设备的稳定供货,设备国产化率贡献超 20%。
2.江丰电子:是国内高纯溅射靶材领域的绝对龙头,深度绑定中芯国际供应链。公司生产的铝靶、铜靶等产品纯度达 99.9999% 以上,尺寸精度控制在 ±0.02mm,成功适配中芯国际 12 英寸晶圆制造;钛靶产品更进入 28nm 先进制程供应链,打破美国霍尼韦尔的垄断。作为中芯国际溅射靶材第一大国产供应商,供货品类覆盖其主要制程。
3.盛美上海:聚焦半导体清洗设备研发,凭借差异化技术路线成为中芯国际清洗设备的核心国产供应商。公司的单片式清洗设备已批量应用于中芯国际 8 英寸、12 英寸产线,清洗精度达 0.05μm,可有效去除晶圆表面颗粒污染物;兆声波清洗技术更适配先进制程需求,良率较传统设备提升 8%。目前设备在中芯国际清洗环节的渗透率已达 25%,且持续提升。
4.长川科技:专注于半导体测试设备研发,凭借全系列产品优势成为中芯国际测试环节的核心合作伙伴。公司自主研发的数字测试机可覆盖中芯国际 8 英寸、12 英寸晶圆测试需求,测试速率达 100MHz,良率提升效率较传统设备高 15%;配套的分选机设备,处理能力达 8000 片 / 小时,适配多种封装形式。目前已进入中芯国际主要产线的设备采购清单,市占率逐步提升。
5.绿通科技:通过收购大摩半导体切入半导体设备领域,成为中芯国际前道量检测环节的重要服务供应商。大摩半导体专注于半导体前道量检测设备解决方案,可为中芯国际等晶圆厂提供量检测修复设备、维保技术服务及核心配件,其设备能精准检测晶圆制造中的微米级缺陷,助力良率提升 3%-5%。目前已与中芯国际建立稳定合作,为其 8 英寸、12 英寸产线提供设备维保与配件供应服务,服务覆盖率达 30%。
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