超高纯氦气产业链

• 设备与技术供应类

◦ 中泰股份（300435）：深冷技术专家，是天然气提氦设备核心供应商。其“甲烷-氦气联产工艺”适配低丰度气田，客户涵盖中石油、延长石油等。

◦ 杭氧股份（002430）：空分设备全球前三，稀有气体提取技术积淀深厚。氦气精制装置已用于神华煤制气项目，纯度达99.999%。

◦ 蜀道装备（300540）：LNG液化设备龙头，布局BOG提氦赛道。其“-196℃级深冷分离装置”可高效富集氦气，适配四川盆地贫氦气田。

◦ 昊华科技（600378）：旗下西南院为气体分离膜技术龙头，“膜法预富集”方案是万瑞联合工艺的前端核心，专利膜材料可提升氦气富集效率30%+，降低深冷环节能耗。

◦ 冰轮环境（000811）：-100℃级深冷压缩机技术国内领先，氦气液化装置覆盖液氦至超流氦温区。“氦气循环制冷系统”可集成于万瑞的30K深冷单元，提升能效比15%。

◦ 佳电股份（000922）：核级氦气压缩机供应商，耐辐射密封技术打破国际垄断。高温气冷堆氦循环机组可为万瑞脱氢环节提供高温催化环境。

• 气体生产与纯化类

◦ 广钢气体（688548）：国内电子大宗气体龙头，具备ppb级超纯气体制备能力。2024年氦气转运能力达400万方，计划2025年扩至800-900万方/年，直接受益于提氦技术降本。

◦ 金宏气体（688106）：电子特气国产替代先锋，超纯氨技术迁移至氦气纯化。在建氦气回收项目，尾气提纯氦气纯度达6N级。

◦ 陕天然气（002267）：陕西燃气集团旗下，垄断省内管网资源。延安气田为万瑞项目气源地，公司直接提氦原料气井参股氦气管线。

◦ 凯美特气（002549）：深耕高端气体纯化，食品级氦气纯度达99.9999%，电子级氦气通过台积电认证。“氦氖氩混合气体分离技术”与万瑞的脱氢工艺形成互补，可降低深冷环节能耗30%。

◦ 华特气体（688268）：国内唯一通过ASML认证的氦气供应商，6N级超纯氦用于光刻机激光发生器冷却。膜分离技术适配万瑞工艺前端，氖杂质控制能力达0.5ppm。

◦ 九丰能源（605090）：控股四川泸州150万方/年精氦项目，原料气源自中石油含氦天然气田。BOG提氦工艺与万瑞项目形成“前端富集-后端精制”产业链协同。