蓝宝石基已经开始发力了,什么时候上金刚石基。
首片国产8英寸蓝宝石衬底GaN HEMTs晶圆发布
西安电子科技大学郝跃院士、张进成教授课题组李祥东团队与广东致能科技联合攻关,首次展示了全球首片8英寸蓝宝石基GaN HEMTs晶圆。
目前200V以下以及650V左右的氮化镓功率HEMT已在8英寸晶圆线上实现了量产,然而在8英寸线上实现2000V级别的氮化镓器件的展示尚属首次。8英寸晶圆将是氮化镓成为主流电力电子器件的必由之路。一方面,采用蓝宝石衬底可以大幅提升氮化镓耐压,蓝宝石衬底技术路线近年来已被广泛认为是实现1200-3300V GaN HEMTs的首选方案。
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